品牌 | PULUODY/普洛帝 | 应用领域 | 环保,生物产业,石油,制药,综合 |
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研磨液大颗粒液体颗粒计数器
研磨液大颗粒液体颗粒计数器产品介绍:商用集成电路的制造关键取决于通过化学机械平坦 化(CMP)将硅晶片表面抛光至接近原子平坦度的磨料浆 料颗粒的物理和化学性质。磨料浆料(Slurry)中含有相对 较少>1.0μm 的颗粒(如二氧化硅、氧化铝),这些颗 粒可能会在晶圆表面平坦化处理的时候造成微划伤。因此 ,磨料浆料(Slurry)颗粒的大颗粒计数 (LPC) 是 CMP 工 艺中的关键因素。
研磨液大颗粒液体颗粒计数器检测原理待:测液体流过流通池,流通池两侧装有光学玻璃,激光 器的光束通过透镜组准直,光束穿过流通池,照射在光陷阱 上。若待测液体中没有颗粒,则光电探测器接收不到光信号 ,若液体中有颗粒,颗粒通过流通池,与激光光束发生遮挡 或者散射现象。某一个(或几个)角度下的遮挡和散射信号通 过透镜收集汇聚到光电探测器上,产生正的电信号脉冲,脉 冲信号的幅度和光强成正比。根据信号的幅度和个数可以对 液体中的微小颗粒进行计数检测。 光阻法主要检测 2μm 以上的较大颗粒,光散射法主要 检测 2μm 以下的颗粒。两种模的巧妙融合检测让颗粒的探 测范围更加宽广且精度更高,让颗粒无处遁形。 PLD-FX-801 液体颗粒计数器基于光散射法和光阻法双模式的检测原理,采用普洛帝核心技术第八代双激光 窄光颗粒检测传感器,双精准流量控制和在离线自动稀释系统,可以用于评估研磨液中的不良颗粒以及这些颗 粒的浓度。PLD-FX-801 液体颗粒计数器可以有效帮助我们确认系统中的颗粒污染源,评估过滤的有效性以及减 少选些不良颗粒带来的风险。
研磨液大颗粒液体颗粒计数器典型应用:应用于 CMP POU 供应前段-供给设备的 Final out 处检测出 Slurry 内的引起 scratch & defect 的 Large Particle,从而预防事故的发生; 应用于检测区分 Slurry good/bad test , good/bad slurry,在供给端分析而预防事故的发生; 应用于电子半导体行业纯水中颗粒监测分析; 应用于电子半导体行业电子化学品中颗粒监测分析; 应用于过滤行业的滤除效率以及膜完整性监测; 应用于净水厂净水、钢厂回收水、自来水用水等。
性能特点双模式:的检测原理,让颗粒无处遁形; 0.5-100μm 的标准颗粒尺寸,超宽广的颗粒监测范围; 精确的流量控制,让监测数据更加恒定和稳定; 在离线自动稀释系统,适合超高浓度粒子; 高流速保证了快速的清洗时间和系统洁净度; 仪器一体化设计故障率,保证了低维护成本; 乳胶球校准,可追溯至 NIST 标准; 实时观察研磨浆料中颗粒的粒径大小、数量和趋势分析; 灵活设置限值报警,动态变化响应快; 可选配灵活通讯方式,实现工厂现代化管理;
技术参数
传感器:第八代双激光窄光检测器(更精确,更稳定,更迅速)
∝测试原理: 光阻和光散射双模式
∝测试样品: 水和有机溶剂
∝检测范围: 0.5-100μm
∝通道数量:1000 通道可任意设定 16 个
∝检测时间: 5s~自定义
∝粒径精度: ≥90%
∝计数精度: ±3%
∝取样精度: ±1%
∝取样流速: 5mL/min~150mL/min
∝测定方式: 在线/离线、稀释/直接
∝报警方式: 声光报警器、漏液报警、颗粒限制报警
∝控制系统: Windows 操作系统
∝通讯方式: 标配 TCPIP;选配:RS232/RS485/4-20mA
订购配置
标准配置:
检测主机一套;
安装调试耗材包一套;
出厂纸质文件一套。
入口压力调节模块。
应用案例
在线或离线测定时,可 Match 供给设备 filter 交换时或 charge 等供给设备 Event 变化带来 的 LPC Data,可有效监测 Slurry 的 Grade。
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