00001. 粒径范围
· 需覆盖0.1μm~10μm的颗粒检测,半导体/医药行业需重点关注0.3μm~5μm的敏感粒径。
· 激光粒子计数器(如0.1μm分辨率)适用于高精度场景,光散射法传感器适合成本敏感型应用。
00002. 流量选择
· 大流量(28.3L/min)适用于快速扫描,小流量(2.83L/min)适合高精度区域监测。
00003. 合规性
· 设备需符合ISO 14644-1、GMP等标准,校准需遵循JJF1190-2008规范。
· 硬件组成
· 粒子计数器(多测点布局)、浮游菌采样器(制药行业)、温湿度传感器。
· 数据采集模块支持Modbus/RS485协议,实现设备互联。
· 软件功能
· 动态阈值预警(如ISO 5级超标自动报警)、数据可视化看板、历史趋势分析。
· 支持与FFU风机、HVAC系统联动,实现净化强度自动调节。
行业 | 核心需求 | 典型配置 |
半导体 | 0.1μm颗粒控制,防电路短路 | 激光粒子计数器+多测点布局 |
制药 | 微生物关联监测,符合GMP动态要求 | 浮游菌采样器+粒子计数器组合 |
电子装配 | 成本敏感,中等洁净度 | 光散射法传感器+局部监测 |
00001. 测点布置
· 层流室≥20个测点,乱流室每50㎡设5个,高度1m(参考ISO 14644-2)。
00002. 状态区分
· 动态检测数据(生产状态下)比空态/静态更具实际参考价值。
00003. 维护校准
· 每6个月校准激光光源,定期清洁采样口避免堵塞。
· 数据存储与分析
· 采用云端存储技术,确保数据的安全性和可追溯性。
· 通过高级分析工具,识别颗粒物来源和趋势,优化管控策略。
· 扩展功能
· 集成AI算法,预测潜在污染事件,提前采取预防措施。
· 支持移动端访问,实现远程监控和管理。
上一篇 : 没有了
下一篇 : 空气粒子计数器在洁净环境中的实验方案