NMP（甲基吡咯烷酮）液体颗粒测试标准

NMP（甲基吡咯烷酮）液体颗粒测试标准

NMP 液体颗粒测试核心遵循GB/T 46380-2025（电子级 NMP 国标），参考ISO 11171、ASTM D5756，适用于半导体、锂电池用电子级 NMP 颗粒度管控。

一、核心指标（电子级）

粒径≥0.2μm：≤200 个 /mL

粒径≥0.3μm：≤65 个 /mL

粒径≥0.5μm：≤15 个 /mL（制程≤10 个 /mL）

二、测试方法

取样：在线动态无菌取样，每次 50mL，连续 3 次，避免沉降误差。

检测：激光 / 光阻法颗粒计数器，量程 0.1–10μm，符合 ISO 11171，每样测 2 次取均值。

空白对照：同批次高纯 NMP 做空白，排除污染干扰。

三、分级与应用

EL 级：≥0.5μm≤100 个 /mL（工业通用）

UP 级：≥0.5μm≤15 个 /mL（半导体 / 锂电池）

UP-S 级：≥0.5μm≤5 个 /mL（先进制程）

四、注意事项

测试环境需ISO 7 级及以上洁净室，器具无颗粒污染；数据超差需复检，以两次合格结果为准。