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UP-200超纯水液体粒子计数器半导体晶圆与高压变电器清洗双场景应用案例

更新时间:2026-06-05   点击次数:134次

在半导体制造领域,晶圆清洗环节是决定芯片良率的关键步骤之一。某集成电路生产企业在引线框架及单晶硅切割工艺中,对清洗用超纯水的颗粒度控制极为严格。传统检测方式多依赖人工取样后送实验室分析,周期长、数据滞后,难以满足产线实时管控需求。该企业引入普洛帝UP-200超纯水液体粒子计数器后,利用第八代双激光窄光颗粒检测传感器,在产线旁实现了清洗液的在线颗粒监测。设备搭配精密计量柱塞泵与超精密流量电磁控制系统,采样流量稳定,数据重复性好。经过三个月的运行,清洗液颗粒超标事件的响应时间从原来的数小时缩短至分钟级别,产品洁净度指标得到明显改善。

除半导体场景外,UP-200同样适用于高压变电器清洗用水的离线检测。某电力设备制造厂在变电器出厂前,需对内部绝缘件进行高压冲洗,冲洗用水的颗粒度直接影响绝缘性能。技术人员使用UP-200对清洗用水进行离线采样分析,设定0.3μm及以上粒径通道进行计数,检测报告可直接作为出厂质检的依据。该案例体现了UP-200从水质检测到工业清洗用水分析的跨场景适配能力。

在液晶显示器及导电玻璃生产企业中,UP-200被用于工艺用水的日常抽检。平板玻璃生产线对冲洗水中的微纳米颗粒同样敏感,设备的双激光检测方案能够覆盖从亚微米到数十微米的粒径范围,满足不同产品线的检测需求。

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