半导体电子制造产线管控 普洛帝 PMT-2 液体颗粒计数器监测超纯水微小颗粒完整应用说明超纯水是芯片制造、PCB 加工、光学元件清洗环节的基础工艺介质，水体内部微米、亚微米级固体颗粒会直接划伤晶圆表面、造成线路短路，大幅降低电子产品良品率。行业对超纯水杂质管控标准严苛，常规目视、简易过滤称重方式无法精准量化微小颗粒含量，普洛帝 PMT-2 液体颗粒计数器依靠光阻检测原理，能够稳定捕捉水体内部微量悬浮颗粒，成为超纯水制程常态化监测的核心设备。

电子行业超纯水制备分为多级过滤、EDI 提纯、终端输送管路三大环节，每一段流程都可能产生颗粒污染。过滤滤芯老化破损会释放滤材碎屑，输送管道内壁析出微量杂质，储罐静置过程会落入空气中粉尘，这类细微污染物无法通过常规水质电导、电阻率指标体现，只能依靠颗粒计数设备量化。普洛帝 PMT-2 流通池采用高透光惰性材质，适配纯水基介质检测，不会与水体发生反应析出杂质，避免干扰样品真实检测结果。

产线日常监测分为离线取样检测与在线连续监测两种模式。离线检测时工作人员使用洁净取样容器采集终端出水口超纯水，直接送入仪器检测，设备可区分不同粒径颗粒数量，同步输出颗粒分布数据，工作人员依据数值判断滤芯是否失效、管路是否存在积垢污染。在线机型可直接接入纯水输送管道，24 小时不间断自动取样检测，实时推送颗粒数据，一旦颗粒数值超出管控阈值，可联动过滤系统自动启动冲洗程序，及时拦截污染水体流入生产工序。

超纯水对检测器具本底洁净度要求，取样、盛装容器需经过多道超纯水冲洗，消除容器自带颗粒带来的数据偏差。普洛帝 PMT-2 自带自动清洗程序，每次检测完成后用高纯纯水冲刷内部管路，杜绝前后样品交叉污染，保障多批次水样检测数据具备可比性。长期持续监测超纯水颗粒指标，能够提前预判过滤耗材更换周期，减少因水质不达标造成的晶圆报废，稳定半导体生产线整体良率，纯水制备全流程质量管控体系。