
在工业液体洁净度检测场景中,同一条产线或同一个实验室往往需要面对多种介质:超纯水、工艺清洗剂、光刻胶、液压油、润滑油等。如果为每种介质单独配置一台颗粒计数器,设备采购成本和维护工作量都会增加;而使用单一的流路设计的仪器跨介质测量,又容易发生交叉污染和粒径标定偏移。普洛帝作为油液颗粒检测领域技术创新者,推出PMT-2液体颗粒计数器油水双系版本,通过水相与油相流路切换的设计思路,覆盖多种液体介质的颗粒检测需求。
多介质检测的首要问题是交叉污染。一台设备刚测过液压油,接着测超纯水,残留油膜会附着在传感器窗口和管路内壁,影响后续水相样本的基线读数。其次是粘度差异带来的取样偏差:水相介质粘度接近1mPa·s,而液压油在常温下粘度可达数十至上百mPa·s,同一根取样管路和同一组泵速参数无法同时兼顾。再者是粒径标定曲线不同——油相颗粒检测通常参照ISO 4406和NAS 1638等级体系,水相超纯水检测则更关注低浓度下的绝对颗粒数/mL,两种报告口径需要分开管理。
PMT-2油水双系版本配置两套独立流路:水相流路采用惰性管路材料,面向超纯水、光刻胶、清洗剂等水性或低粘度介质;油相流路适配液压油、润滑油、绝缘油等矿物油介质。操作人员通过软件界面切换检测模式后,仪器自动调用对应的粒径标定曲线和流速参数,避免水油混流。传感器共用第八代双激光窄光检测器,通过切换流路末端连接方式完成介质切换,减少整机内部交叉残留。油相检测部分满足ISO 4406、NAS 1638污染度等级评定要求;水相检测部分参照ISO 21501-2光散射液体颗粒计数器标定方法执行。
参数项目 | 技术指标 |
检测原理 | 光散射法(第八代双激光窄光) |
水相粒径范围 | 0.1μm~100μm |
油相粒径范围 | 1μm~400μm |
取样流速 | 5mL/min~150mL/min |
工作压力 | 0~0.5MPa(无减压阀);0~31.5MPa(含减压阀) |
数据重复性误差 | ≤±2% |
油相执行标准 | ISO 4406、NAS 1638 |
水相执行标准 | ISO 21501-2、JJG 1061 |
流路模式 | 适配介质 | 典型应用场景 |
水相模式 | 超纯水、去离子水 | 半导体湿法清洗、UPW管路监控 |
水相模式 | 光刻胶、显影液 | 晶圆涂胶前供液检测 |
水相模式 | 半导体清洗剂、清洗液 | 湿法工艺槽液颗粒监控 |
油相模式 | 液压油、润滑油 | 液压系统油液污染度检测 |
油相模式 | 绝缘油、透平油 | 电力设备用油颗粒监测 |
油相模式 | 齿轮油、压缩机油 | 工业设备润滑系统定期取样 |
油水双系设计的价值在于,用户只需一台主机即可覆盖水相和油相两大类介质的检测任务,在切换时通过独立流路隔离降低交叉污染风险。对于同时承担半导体工艺液体检测和工业油液检测任务的实验室或产线质控部门,这种一机多介质的配置方式有助于缩减设备台数、统一数据管理平台。
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